Анализаторы
ИК фурье-анализаторы, в отличие от универсальных ИК фурье-спектрометров, являются узкоспециализированными приборами, так как предназначены для решения какой-либо конкретной задачи, например, контроля параметров полупроводниковых пластин или проверки подлинности лекарственного средства. Основой анализатора является спектрометр, но конструкция такого прибора изначально предусматривает размещение определенных образцов без установки дополнительных приспособлений. Поскольку анализатор создается под конкретный вид исследований, для которых известны и методика, и тип измеряемых с помощью анализатора образцов, у разработчиков прибора больше возможностей для их автоматизации. Так, например, у тестера полупроводниковых пластин автоматизирована подача образцов, а многие БИК-анализаторы оснащены зондом.
Тестер полупроводниковых пластин ФСМ 1201П предназначен для неразрушающего контроля пластин и структур из монокристаллического кремния. Тестер позволяет в автоматизированном режиме проводить измерение плоскопараллельных полированных пластин кремния диаметром до 200 мм, размещаемых на двухкоординатном измерительном столе, в запрограммированных оператором точках.