Зеркальное отражение — это идеальный метод для исследования тонких пленок материалов, нанесенных на отражающие поверхности. Он обеспечивает неразрушающий контроль поверхностей и покрытий без пробоподготовки. Спектр зеркального отражения может быть использован для идентификации образца, контроля качества покрытий, анализа монослоев и измерения толщины пленок.
Методом зеркального отражения при углах падения, близких к нормальному (от 10° до 60°), как правило, анализируются покрытия с диапазоном толщин 0,5-20 мкм.
Для измерения более тонких покрытий используют метод «скользящего угла», при котором излучение падает на поверхность образца под углом от 60° до 85°. Достигнутое таким образом увеличение длины пути луча через покрытие позволяет повысить точность измерений.
Приставка зеркального отражения с углом падения луча 10°. Применяется для измерения отражающей способности твердых образцов и для анализа покрытий.
Приставки зеркального отражения с углом падения луча соответственно 30° и 45°. Применяются для рутинных измерений образцов, имеющих покрытие в микронном диапазоне, с целью идентификации покрытий и определения их толщины.
Приставка со «скользящим» углом падения луча — 80°. Применяется для измерения тонких покрытий, имеющих толщину в нанометровом диапазоне, и мономолекулярных слоёв.